Kun pituus yhdessä suunnassa on pienempi kuin pituus kahdessa muussa suunnassa, tätä rakennetta kutsutaan ohueksi kalvoksi. Nykyään mikroelektronisten kalvojen, optisten kalvojen, hapettumisenestokalvojen, jättimäisten magnetoresistiivisten kalvojen, korkean lämpötilan suprajohtavien kalvojen jne. jatkuvassa käytössä teollisessa tuotannossa ja ihmiselämässä teollisuudessa tuotettujen kalvojen paksuus on erittäin tärkeä parametri, suoraan Se liittyy kalvomateriaalin toimintakykyyn.
Normaalisti kalvon paksuus viittaa substraatin pinnan ja kalvon pinnan väliseen etäisyyteen. Itse asiassa kalvon pinta on epätasainen ja epäjatkuva, ja pinnalle on adsorboituneita reikiä, mikrohalkeamia, kuitufilamentteja, epäpuhtauksia, hilavirheitä ja molekyylejä. Esimerkiksi erilaiset ohutkalvot suuren -mittakaavan integroitujen piirien tuotantoprosessissa vaikuttavat suoraan integroitujen piirien suorituskykyyn piirien integrointiasteen jatkuvan parantamisen ja ohuen kalvon paksuuden pienten muutosten ansiosta. Lisäksi ohutkalvomateriaalien mekaaniset ominaisuudet, valonläpäisyominaisuudet, magneettiset ominaisuudet, lämmönjohtavuus, pintarakenne jne. liittyvät läheisesti paksuuteen. Siksi tarkka kalvon paksuuden online-mittaus tuotantoprosessissa on tärkeä keino varmistaa tuotteiden laatu ja parantaa tuotannon tehokkuutta.
Kalvon paksuuden tarkka mittaus riippuu siitä, millaista paksuusanturia käytetään. Tällä hetkellä online-kalvon paksuuden havaitsemistekniikassa on pääasiassa useita menetelmiä:
1. Beta-anturi on aikaisin ohutkalvon havaitsemiseen käytetty anturi. Se käyttää beetasäteilylähdettä signaalilähteenä, ja tekniikka on kypsää. Radioaktiivisten lähteiden käyttöön tarvitaan kuitenkin lupa, ja tuonti- ja vientimenettelyt ovat suhteellisen monimutkaisia. Käyttöiällä on puoliintumisraja, ja tunnistustarkkuus heikkenee radioaktiivisen lähteen vaimentuessa.
2. Infrapuna-anturit käyttävät periaatetta, että tietyt infrapunakaistat absorboituvat voimakkaasti tiettyihin muovikalvoihin kalvon paksuuden mittaamiseksi. Anturi on vakaa havaitsemisessa, eikä siihen vaikuta ympäristön muutokset, mutta se on herkkä lisäaineiden ja värien muutoksille, eikä se sovellu useiden tuotteiden valmistukseen samalla tuotantolinjalla.
3. Röntgenanturi käyttää X--sädeputkea röntgensäteiden tuottamiseen signaalilähteenä muovikalvon paksuuden havaitsemiseksi. On monia etuja: radioaktiivisten materiaalien lentäminen; alhainen energia ei vaadi lupaa; laaja mittausalue; korkea mittaustarkkuus; kaikenlaisia muoveja voidaan mitata ilman, että lisäaineet ja värisekoitus vaikuttavat niihin.
Tällä hetkellä kalvon paksuuden mittauslaite on kehittynyt korkeaan tarkkuuteen ja automatisoitumiseen ja on saavuttanut erittäin korkean tason. Sen mittaustarkkuus on ±2% - ±5% mitatusta kalvon paksuudesta yleisellä kalvokerroksella ja ±2nm ohutkalvolla, ja siinä on mikroalueen mittaustoiminto, nopea mittausnopeus ja korkea automaatioaste. Erityisesti tekniikan kehittyessä ja tarkkuusinstrumenttien soveltamisen myötä kalvon paksuus voidaan mitata edellä mainittujen tunnistusteknologiamenetelmien lisäksi myös ultraäänianturilla. Gongcai-MB7480:n suosittelema MaxBotix-ultraäänianturi on erittäin suorituskykyinen Ultraääni-tarkkuusetäisyysmittari, joka mahdollistaa korkean tarkkuuden ja korkean resoluution ultraäänietäisyyden mittaamisen ilmassa.
